半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術

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著者 : S.M.ジィー
制作 : S.M. Sze  南日 康夫  川辺 光央  長谷川 文夫 
  • 産業図書 (2004年3月1日発売)
  • Amazon.co.jp ・本 (499ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784782855508

半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術の感想・レビュー・書評

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半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術の作品紹介

本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。

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