ナノテクノロジー・表面分析の科学: 原子・分子スケールで表面を見る (ブルーバックス 948)

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  • 講談社
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  • Amazon.co.jp ・本 (320ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784061329485

作品紹介・あらすじ

今日の半導体産業の超LSI素子では、1ミリメートルの1万分の1単位の大きさのチリが、20センチメートル程度のシリコン基盤の上に1個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を1つ1つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。

感想・レビュー・書評

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  • ナノテクというよりは物性に近い。
    ナノテクの記述は既存の技術の紹介に留まっている。

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