はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力)

著者 : 岡崎信次 鈴木章義 上野巧

• 技術評論社 (2011年12月8日発売)

感想・レビュー・書評

[TAZさんの感想 · 2020年1月21日]

半導体ドリソグラフィー思い出し作業のために購入
エッチングプロセス同様に、加工するプロセスにおけるキープロセスなので、基本事項は抑えておくという目的では非常に有用
線幅がムーアの法則に従って細線化しているが、この本のものよりおそらく現状は更に狭いため、原理を抑えるだけのものになってしまうが良書
初心者には良いと思う