半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術

著者 :
制作 : S.M. Sze  南日 康夫  川辺 光央  長谷川 文夫 
  • 産業図書
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レビュー : 3
  • Amazon.co.jp ・本 (499ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784782855508

作品紹介・あらすじ

本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。

感想・レビュー・書評

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  • 日本語で一冊、半導体の基礎の本をと言われたらこの本を勧めています。

  • 半導体の物理現象から半導体技術の応用であるMEMSまで幅広くカバー。デバイスの説明が非常に分かりやすい。

    計算が豊富なうえ、いろいろな実験値を載せているのが特徴的。

  • 新版基礎半導体工学の内容なんて簡単だよという人にはぜひこの本を読んでほしい。内容は高度だが新版基礎半導体工学を読みこなす力があればこの本にも読む事ができると思います。

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