MEMS開発&活用スタートアップ―動作原理、設計・製造工程から応用事例まで (デザインウェーブムック)

制作 : デザインウェーブマガジン編集部 
  • CQ出版
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  • Amazon.co.jp ・本 (216ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784789837163

感想・レビュー・書評

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  • とりあえず一読。
    少し内容が古いが研究には役立った。

  • 図が豊富にあり、MEMSプロセスを理解するにはとてもいい本である。初心者から中級者まで自信を持って奨める。

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