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最新シリコンデバイスと結晶技術 -先端LSIが要求するウエーハ技術の現状-
最新シリコンデバイスと結晶技術 -先端LSIが要求するウエーハ技術の現状-
著者 :
福田哲生
松川和人
三浦英生
小椋厚志
津屋英樹
佐藤俊哉
渡辺正晴
原田博文
林健郎
泉妻宏治
末岡浩治
中居克彦
佐藤信彦
吉見信
柿崎恵男
松村篤樹
高田清司
今井正人
林信行
柿本浩一
鹿島一日兒
守矢一男
中嶋健次
磯貝宏道
戸田昭夫
制作 : 清水 博文 池田 和子 高田 清司 福田 哲生
リアライズ理工センター
(2005年12月29日発売)
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Amazon.co.jp ・本 (328ページ)
/ ISBN・EAN:
9784898080672
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