半導体の高次元化技術

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  • 東京電機大学出版局
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  • Amazon.co.jp ・本 (160ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784501330903

作品紹介・あらすじ

半導体を高次元化する技術の概要・特徴が理解でき、今後の技術動向と業界の展望について分かりやすく解説。半導体の3D、2.5D、2.1Dの加工方法、製作コスト、技術的課題をわかりやすくまとめたため、今後の研究開発・技術開発の指針となる。新しい技術であるワイドIO、ガラスインターポーザに関しても多くの情報を取り上げた。

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  • 請求記号 549.8/D 57

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