はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力)

  • 技術評論社
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  • Amazon.co.jp ・本 (312ページ)
  • / ISBN・EAN: 9784774149394

感想・レビュー・書評

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  • 最近、レジスト関係の仕事が増えてきたので基礎的なことを思い出すために購入。
    EUV関連の記述なんかは、最近の状況を簡潔にしかも的確に記載されていて大変勉強になっています。

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