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超純水の科学

著者 : 福本隼明久保田昌治松下嘉明福本隼明矢部江一牛越健一杉山勇八巻由孝篠田猛池上理一神藤郁夫本村敬人河本宏実

制作 : 監修/ 大見忠弘東北大学/新田雄久 UCS半導体基盤技術研究会/ 原田宙幸三菱商事

リアライズ理工センター (1986年8月31日発売)

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Amazon.co.jp ・本 (890ページ)
/ ISBN・EAN: 9784898080948

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