図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (How-nual図解入門Visual Guide Book)

著者 : 佐藤淳一

• 秀和システム (2010年5月21日発売)

作品紹介・あらすじ

製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで手に取るようにわかる。

感想・レビュー・書評

[ykondo813さんの感想 · 2014年4月13日]

前工程と後工程、両方とも広く分かりやすく書いてある。

300mm(12インチ)ウェハ時代での話が多い。
リソグラフィーと露光レーザの話、成膜の話が比較的多かったように思える。

2010年現在どのような技術で半導体が作られており、今後の製造工程はこうなる見込み、という風に書かれている。

[狐舞さんの感想 · 2013年4月10日]

　半導体関連の書籍ではほとんど触れられることのない製造装置にスポットを当てた1冊。マスク(レティクル)などいくつか説明が足りないと感じたところもあったが、ファブで何をやっているのかを掴むのには十分な内容だった。

[munich11さんの感想 · 2011年3月19日]

半導体とは電気屋抵抗が中間のもの
材料はシリコン
シリコンは元素
不純物はリンとか
LSI ラージスケールＩＣ
集積回路のこと
DRAMダイナミックラン

前工程
1シリコン投入
2洗浄
3成膜
4印刷技術でリソグラフィエッチング
5不純物を拡散 加熱

後工程
1ダイジング
2くっつける マウント
3ボンディング 配線
4モールド 封止
５仕上げ

著者プロフィール

武蔵野美術大学造形学部デザイン情報学科教授。1963年生まれ。
東北大学工学部、武蔵野美術大学短期大学部卒業。1987年より日本楽器製造（現ヤマハ）において音響機器の設計に従事。独立後、電子機器、デジタルフォントなどのデザイン業務、コンピューターネットワーク構築業務を経て、ネットワークメディア表現の実践的な研究を行うに至る。
同時に写真作家として活動。1995年より個展、グループ展、Webコラボレーションを開催。
著書『マルチメディア』（武蔵野美術大学出版局、2002年）、『電脳の教室』（同、2005年、新版2011 年）、『恋する水門 FLOODGATES』（ビー・エヌ・エヌ新社、2007年）、『ドボク・サミット』（共著 武蔵野美術大学出版局、2009年）、『カワウソ』（東京書籍、2010年）。

「2018年 『コンピューターと生きる』 で使われていた紹介文から引用しています。」