野尻一男のおすすめランキング

プロフィール

1973年群馬大学工学部電子工学科　卒業
1975年群馬大学大学院工学研究科修士課程　修了
1975年 (株)日立製作所入社。半導体事業部にてCVD，デバイスインテグレーション，ドライエッチングの研究開発に従事。特にECRプラズマエッチング，チャージア
ップダメージに関して先駆的な研究を行った。また技術開発のリーダーとして
数々のマネージメントを歴任。
2000年 2000年ラムリサーチ(株)入社，取締役・CTOに就任。
2019年独立し，ナノテクリサーチ代表として技術および経営のコンサルティングを行っている。
＜主な受賞＞
1989年｢有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化｣で大河内記念賞を受賞
1994年｢低温ドライエッチング装置の開発｣で機械振興協会賞通産大臣賞を受賞
2019年 DPS Nishizawa Awardを受賞
＜主な著書＞
｢先端電気化学｣（丸善）共著

「2020年『改訂版　はじめての半導体ドライエッチング技術』で使われていた紹介文から引用しています。」

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※同姓同名が含まれる場合があります。